特許
J-GLOBAL ID：200903023634420989
耐食性に優れる高純度ガス用オーステナイト系ステンレス鋼材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂上 照忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186940
公開番号（公開出願番号）：特開平6-033216
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】耐食性に優れた高純度ガス用ステンレス鋼材と製造方法の提供。【構成】(1)Ti およびAlの合計含有量が0.02重量%未満のオーステナイト系ステンレス鋼材であって、予め最大粗さが1μm 以下となるように平滑化処理したその表面に最外層部のCr含有率が60原子%以上である厚さ 100〜1000Åの酸化被膜を有することを特徴とする高純度ガス用オーステナイト系ステンレス鋼材。(2) 上記のオーステナイト系ステンレス鋼を、予め表面の最大粗さが1μm 以下となるように処理した後、酸素分圧が10-5Pa以下の不活性ガスあるいは真空雰囲気中で 750〜1100°Cで加熱処理することを特徴とする上記(1) に記載の高純度ガス用オーステナイト系ステンレス鋼材の製造方法。【効果】鋼材表面に水分が吸着し難く、また吸着した場合にもその後の脱離が容易で、しかも腐食性ガスに対する耐食性に優れた高純度ガス用ステンレス鋼材が得られる。
請求項（抜粋）：
TiおよびAlの合計含有量が0.02重量%未満のオーステナイト系ステンレス鋼材であって、予め最大粗さが1μm 以下となるように平滑化処理したその表面に最外層部のCr含有率が60原子%以上である厚さ 100〜1000Åの酸化被膜を有することを特徴とする高純度ガス用オーステナイト系ステンレス鋼材。
IPC (4件)：
C23C 8/18
, C21D 1/76
, C21D 6/00 102
, H01L 21/02
