特許
J-GLOBAL ID：200903023635638783
液状物質塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-264576
公開番号（公開出願番号）：特開平5-104052
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【構成】 この液状物質塗布装置は、液状物質供給部23と、この液状物質供給部23に接続された吐出ヘッド15と、この吐出ヘッド15に対し被塗布部材6を対向位置決め駆動するXYステ-ジ26とを有する。上記吐出ヘッド15には、上記液状物質供給部23に連通し液状物質2が満たされる圧力室18と、この圧力室18の長手方向中途部に設けられ、上記吐出ヘッド15の下端面に開口するノズル17と、この圧力室18内の液状物質2を加圧して上記ノズル17から上記液状物質2を液滴2aにして下方に飛ばす圧力印加手段Aとからなる。【効果】 従来の液状物質塗布装置に比べ、高速かつ高精度に液状物質を塗布することができるという効果がある。
請求項（抜粋）：
液状物質供給部と、この液状物質供給部に接続されたノズルと、このノズルに対して被塗布部材の所定の部位を対向位置決めする位置決め手段と、上記液状物質に圧力を加え、この液状物質を液滴にして、上記ノズルから上記被塗布部材上に吐出する圧力印加手段とを有することを特徴とする液状物質塗布装置。
IPC (3件)：
B05C 5/00 101
, B05C 5/00
, H01L 21/52
