特許
J-GLOBAL ID：200903023639560630
導電性ボールの搭載装置および搭載方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210279
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064151
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【目的】 ワークを保持するキャリアが屈曲している場合でも、ワークの電極上に半田ボールなどの導電性ボールを確実に搭載できる導電性ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。【構成】 搭載ヘッド23の下面の吸着孔28に半田ボール6を真空吸着する。ワーク2を保持して搬送路を搬送されるキャリア12は屈曲変形しており、したがってキャリア12に保持されたワーク2は傾斜している。ワーク2はキャリア12の凹部40に配設された弾性部材41に弾支されている。搭載ヘッド23を下降させて半田ボール6をワーク2の電極4に着地させると、ワーク2は弾性部材41を圧縮して上下方向へ揺動し、水平な姿勢となるのですべての半田ボール6をワーク2の電極4上に確実に搭載できる。
請求項（抜粋）：
複数個のワークを保持するキャリアと、このキャリアを位置決めする位置決め部と、導電性ボールの供給部と、この導電性ボールの供給部の導電性ボールをピックアップして前記キャリアに保持されたワークの電極上に搭載する搭載ヘッドとを備えた導電性ボールの搭載装置であって、前記キャリアが前記ワークを上下方向へ揺動自在に弾支する弾性部材を備えたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/60 311
H01L 21/68 B
, H01L 21/68 N
, H01L 21/60 311 S
