特許
J-GLOBAL ID：200903023640127436
イオンビーム発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-212826
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064437
出願日： 1996年08月12日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 ビーム引き出し用グリット電極前面で均一なプラズマ分布を与え、引き出されるイオンビームを偏りのない均一なものとなし得るようにする。【解決手段】 アノード1と複数の金属カソード3との間で真空アーク放電を起こさせてイオンビームを引き出すようにしたイオンビーム発生装置において、複数の金属カソード3をイオン源軸心Aに対して対称となる位置に設け、対称位置にある複数の金属カソード3に同時に真空アーク放電を起こさせるようにした。また、前記金属カソード3を、そのカソード軸心Bがグリッド電極の中心に向かうように設けると共に、アノードとグリッド電極との間に、グリッド電極に対して垂直な磁場33を印加するようにした点にある。
請求項（抜粋）：
アノード(1)と複数の金属カソード(3)との間で真空アーク放電を起こさせてイオンビームを引き出すようにしたイオンビーム発生装置において、複数の金属カソード(3)をイオン源軸心Aに対して対称となる位置に設け、対称位置にある複数の金属カソード(3)に同時に真空アーク放電を起こさせるようにしたことを特徴とするイオンビーム発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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