特許

J-GLOBAL ID：200903023641019548

基板洗浄装置

発明者： 森西 健也 ,  大谷 正美 ,  柴田 修治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204481
出願日： 1998年01月19日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 簡易な構成でありながら基板を迅速に、且つ、基板にダメージを与えずに洗浄することができる基板洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】 洗浄液吐出ノズル13は、ノズル本体27の内部に形成された洗浄液の流路28と、洗浄液の流路28の端部に配設されたノズルチップ17とを有する。ノズルチップ17は、セラミック製のチップ本体に3個の吐出孔18を穿設した構成を有する。これらの3個の吐出孔18は、互いに等間隔に離隔した正三角形の頂点をなす位置に配置されている。このため、3個の吐出孔18から吐出された洗浄液は、基板Wの表面において、互いに異なる位置に3個の洗浄液のスポット51を形成する。

請求項（抜粋）：

基板を水平姿勢で保持した状態で鉛直軸周りに回転する基板保持手段と、前記基板保持手段に保持されて回転する基板に対して洗浄液を吐出する洗浄液吐出ノズルと、前記洗浄液吐出ノズルに加圧された洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記洗浄液吐出ノズルから前記基板保持手段に保持されて回転する基板に対して供給される洗浄液の供給位置が少なくとも前記基板保持手段に保持されて回転する基板の回転中心と基板の周縁とを通過するように前記洗浄液吐出ノズルを移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、前記洗浄液吐出ノズルは、前記基板保持手段に保持されて回転する基板の表面における各々異なる複数の位置に向けて洗浄液を吐出するための複数個の吐出孔を備えることを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/02

FI (3件)：

H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 643 C ,  B08B 3/02 G