特許

J-GLOBAL ID：200903023647457458

薄膜光電変換モジュールの製造装置

発明者： 横山 康弘 ,  清水 均
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252307
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097915
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】任意の長さの薄膜光電変換セルをラミネートして、薄膜光電変換モジュールを生産効率の高く連続製造でる薄膜光電変換モジュールの製造装置を提供する。【解決手段】2枚の封止シート24a 、24d を別々に連続供給する送り出しロール21、23と、製造された薄膜光電変換モジュールを巻き取る巻き取りロール27とを備え、加熱機構5 を有する下部真空容器1 と、加熱機構に対向する1面が伸縮性シート7 であり、周縁真空シール部が下部真空容器のそれとが合致する上部真空容器2 を備え、上部真空容器と下部真空容器を合致させて構成される下部真空容器内の真空室内で、2枚の封止シートの間に薄膜光電変換セルを挟んだ積層体を加熱機構上で脱気、加圧加熱してラミネートする、薄膜光電変換モジュール製造装置である。

請求項（抜粋）：

加熱機構が内部に設けられた下部真空容器と、加熱機構に対向する1面が伸縮性シートであり、周縁真空シール部が下部真空容器のそれとが合致する上部真空容器を備え、上部真空容器と下部真空容器を合致させて構成される下部真空容器内の真空室内で、2枚の封止シートの間に薄膜光電変換セルを挟んだ積層体を加熱機構と伸縮性シート間に置き、脱気、加圧加熱してラミネートし、前記積層体の外周部を封止して薄膜光電変換モジュールを製造する薄膜光電変換モジュール製造装置において、前記2枚の封止シートを別々に連続供給する送り出しロールと、ラミネートされた薄膜光電変換モジュールを巻き取る巻き取りロールとを備え、これら封止シートの間に薄膜光電変換セルを挟み、前記加熱機構と伸縮性シート間に通し、前記ラミネート薄膜光電変換セルの搬送方向の長さに係わらない一定のピッチの搬送とラミネートを交互に行うことを特徴とする薄膜光電変換モジュールの製造装置。