特許
J-GLOBAL ID：200903023649617983
位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049439
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251304
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構造で基準ピンを移し変えることなく、矩形基板を縦横いずれの配置状態でも位置決め可能とし、効率の良い基板配置での位置決め作業を容易に達成可能な位置決め装置を提供する。【構成】 載置台6上の所定位置に配設された第1当接部材11Xと;矩形基板5の1つの短辺が前記第1当接部材に当接するように、他の短辺を押圧する第1押圧手段16Xと;前記1つの短辺が前記第1当接部材に当接した際に基板長辺の位置を計測する第1の位置計測手段12Yと;前記基板を90 ゚回転して前記載置台上に載置した際に基板短辺が当接する第2当接部材11Yと;前記回転した基板の1つの短辺が前記第2当接部材に当接するように、他の短辺を押圧する第2押圧手段16Yと;前記1つの短辺が前記第2当接部材に当接した際に、基板長辺の位置を計測する第2の位置計測手段12Xと;前記第1または第2押圧手段によって基板を押圧後に、前記基板を載置台上に固定する固定手段とを有する。
請求項（抜粋）：
対向する第1、及び第2の短辺と対向する2つの長辺とを有する矩形基板を、少なくとも平面内で移動可能な載置台上の所定の位置に位置決めする位置決め装置において、前記所定の位置に応じた前記載置台上の位置に配設された第1当接部材と;前記第1の短辺が前記第1当接部材に当接するように、前記第2の短辺を該短辺に交差する方向から押圧する第1押圧手段と;前記第1の短辺が前記第1当接部材に当接した際に、前記2つの長辺のうちの1辺の位置を計測する第1の位置計測手段と;前記所定の位置に対してほぼ90 ゚回転した位置に応じた前記載置台上の位置に配設された第2当接部材と;前記回転した位置に応じて前記第1の短辺が前記第2当接部材に当接するように、前記第2の短辺を該短辺に交差する方向から押圧する第2押圧手段と;前記第1の短辺が前記第2当接部材に当接した際に、前記2つの長辺のうちの1辺の位置を計測する第2の位置計測手段と;前記第1または第2押圧手段によって前記第2の短辺を押圧した後に、前記矩形基板を前記載置台上に固定する固定手段とを有することを特徴とする位置決め装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B23Q 3/18
, G12B 5/00
, H01L 21/68
