特許
J-GLOBAL ID：200903023659641017
フローセンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-143697
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332455
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 流速変化等の影響を受けても断線等の不良を生ぜず、長寿命化を図りやすいフローセンサを提供する。【解決手段】 第1の温度検出部と第2の温度検出部とが、流体の流れの方向Fに貫通した空洞25上を橋架する架橋構造としてセンサ基板24に形成されたセンサチップ22を備え、このセンサチップ22が流体の流れの方向に沿わせた凹状流路36を有する実装基板23上にフェースダウン実装されているので、金線等による配線露出個所がなく、流路中に晒されても断線等の心配は全くなく、長期に渡って信頼性の高いフローセンサ21となる。
請求項（抜粋）：
発熱手段を備えた第1の温度検出部と第2の温度検出部とが、流体の流れの方向に対して略直交する方向に形成されて、流体の流れに伴い前記第1の温度検出部と前記第2の温度検出部との間に生ずる温度差に基づいて流体の流量を検出するフローセンサにおいて、前記第1の温度検出部と前記第2の温度検出部とが、流体の流れの方向に貫通した空洞上を橋架する架橋構造としてセンサ基板に形成されたセンサチップを備え、このセンサチップが流体の流れの方向に沿わせた凹状流路を有する実装基板上にフェースダウン実装されていることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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