特許
J-GLOBAL ID：200903023661393160
窒化アルミニウム接合構造体とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329338
公開番号（公開出願番号）：特開平11-157951
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】窒化アルミニウムからなる基体1,2同士を気密にかつ強固にさらには精度良く接合することができるとともに、基体1,2との接合界面及び結合層3部分において熱伝達特性の低下のない窒化アルミニウム接合構造体を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム焼結体からなる基体1,2同士を窒化アルミニウム焼結体からなる結合層3によって接合一体化してなり、上記結合層3を構成する窒化アルミニウムの平均結晶粒子径を、基体を構成する窒化アルミニウムの平均結晶粒子径よりも小さくかつその粒子径を5μm以下とするとともに、結合層3の厚み幅を50μm以下として窒化アルミニウム接合構造体を構成する。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム焼結体からなる基体同士を窒化アルミニウム焼結体からなる結合層でもって接合一体化してなる窒化アルミニウム接合構造体であって、上記結合層を構成する窒化アルミニウムの平均結晶粒子径を、前記基体を構成する窒化アルミニウムの平均結晶粒子径よりも小さくかつその粒子径を5μm以下とするとともに、結合層の厚み幅を50μm以下としたことを特徴とする窒化アルミニウム接合構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 37/00 Z
, C04B 35/58 104 Z
