特許

J-GLOBAL ID：200903023667840193

光導波路素子

発明者： 中山 徹生
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209490
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054293
出願日： 1995年08月17日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 光導波路素子上の形成された金属薄膜電極のような一対の電極は、大気中の水分などによる損傷を受けやすく、電気光学変調器としての機能を果たさなくなる。【解決手段】 例えばニオブ酸リチウム(LiNbO3、以下LNという。)よりなる結晶基板2に例えばチタン(Ti)を熱拡散して光導波路3を形成し、この光導波路3を挟み込むように結晶基板表面2に例えば一対のアルミニウム(Al)薄膜電極よりなる電気光学変調器である光変調器4を設け、この光変調器4を例えば二酸化ケイ素(SiO2)よりなる保護膜5で保護してなる。保護膜5は、光変調器4をすべて覆うように形成されている。

請求項（抜粋）：

結晶基板に光導波路が形成された光導波路素子において、上記光導波路近傍の上記結晶基板表面に設けられた一対の電極と、上記一対の電極上に形成された保護膜とを備えることを特徴とする光導波路素子。

IPC (2件)：

G02F 1/035 ,  G02F 1/313

FI (2件)：

G02F 1/035 ,  G02F 1/313

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-128037
  
• 特開平1-238623
  
• 光ドップラ速度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-300426   出願人：ソニー株式会社