エッチング加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136096
公開番号（公開出願番号）：特開平9-316667
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】短時間で最適搬送速度を求め、この搬送速度で金属薄板を搬送するエッチング加工方法を提供する。【解決手段】金属薄板(板厚T)を搬送しながらその表面にエッチング液を噴霧してエッチング加工する際に、板厚方向の腐食速度a(エッチング開始からエッチング孔が貫通するまでの過程における腐食速度)と、板厚に対して側面方向の腐食速度α(エッチング開始からエッチング孔が貫通するまでの過程における腐食速度)およびβ(貫通後目標抜き幅に達するまでの過程における腐食速度)を、前記金属薄板の材質およびエッチング液の劣化度に対応させてあらかじめ求めておき、これに基づいて目的とする製品の素材として用いる金属薄板の材質およびそのとき用いるエッチング液の劣化度に適合する前記a、αおよびβを定め、下記の式(式中のLはエッチング装置の有効ライン長さ、Sは目標サイドエッチング量)により求めた搬送速度Rで金属薄板を搬送する。R=(L×β)/{S-(α-β)×(T/2a)}

請求項（抜粋）：

製品パターンが描画されたフォトレジスト膜を有する金属薄板を搬送しながらエッチングチャンバー内でその表面にエッチング液を噴霧し、エッチング加工する方法であって、板厚方向の腐食速度と板厚に対して側面方向の腐食速度を前記金属薄板の材質およびエッチング液の劣化度に対応させてあらかじめ求めておき、これに基づいて目的とする製品の素材として用いる金属薄板の材質およびそのとき用いるエッチング液の劣化度に適合する前記板厚方向の腐食速度と板厚に対して側面方向の腐食速度を定め、下記の式により求めた搬送速度Rで金属薄板を搬送することを特徴とするエッチング加工方法。R=(L×β)/{S-(α-β)×(T/2a)}ただし、a:エッチング開始からエッチング孔が貫通するまでの過程における板厚方向の腐食速度α:エッチング開始からエッチング孔が貫通するまでの過程における板厚に対して側面方向の腐食速度β:エッチング孔が貫通してから目標とする抜き幅に達するまでの過程における板厚に対して側面方向の腐食速度L:エッチング液が噴霧される部分の長さT:金属薄板の板厚S:目標とする板厚に対して側面方向のエッチング量(目標サイドエッチング量)

IPC (5件)：

C23F 1/00 , C23F 1/08 103 , G01B 11/06 , H01J 9/14 , H01L 23/50

FI (5件)：

C23F 1/00 C , C23F 1/08 103 , G01B 11/06 H , H01J 9/14 G , H01L 23/50 A

前のページに戻る