特許
J-GLOBAL ID：200903023673351102
走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-075504
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271220
出願日： 1998年03月24日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】本発明は、予備的なスキャンの回数を減らし、ダイナミックレンジの測定精度を高くするとともにノイズの影響を抑えて正確に測定パラメータを決定する。【解決手段】レーザ光源1からのレーザ光を試料にスキャンしたときの反射光、蛍光又は透過光を受光素子3で光電変換したアナログ電気信号をオフセット演算部4、アナログ増幅器5、A/D変換器6を通して試料画像データに変換し、この試料画像データのうち一部分の画像データを標本抽出機能11により標本として抽出し、この標本の集合から各画素の明るさに対する正規分布を正規分布導出機能12により導出し、この正規分布から得られる明るさのダイナミックレンジに基づき測定パラメータ決定機能13によりオフセット演算部4のオフセット及びアナログ増幅器5のゲインを決定する。
請求項（抜粋）：
レーザ光で試料をスキャンし、試料から得られる光を受光素子で受光し、この受光素子から出力されるアナログ電気信号をオフセット演算部及びアナログ増幅器を通してディジタルの試料画像データに変換し、この試料画像データに基づいて前記オフセット演算部のオフセット及びアナログ増幅器のゲインを決定する走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法において、前記試料画像データのうち一部分の画像データを標本として抽出するステップと、このステップにより抽出した前記標本の集合から各画素の明るさに対する正規分布を導出するステップと、このステップにより導出された前記正規分布から得られる前記明るさのダイナミックレンジに基づいて前記オフセット演算部のオフセット及びアナログ増幅器のゲインを決定するステップと、を有することを特徴とする走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法。
IPC (4件)：
G01N 21/27
, G01B 11/00
, G01N 21/64
, G02B 21/00
G01N 21/27 E
, G01B 11/00 A
, G01N 21/64 E
, G02B 21/00
