特許
J-GLOBAL ID：200903023677899544
剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-204525
公開番号（公開出願番号）：特開2003-022986
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 被着体の外側に表出する粘着シートの粘着面に保護テープの剥がれ部分が不用意に付着することを防止すること。【解決手段】 ダイシングテープTの一部領域に貼着されるとともに上部に保護テープCが貼着されたウェハWを保持するテーブル31と、保護テープCの一端側に接着された剥離テープAを把持する剥がしヘッド部72とを備えて剥離装置10が構成されている。この剥離装置10は、剥がしヘッド部72が剥離テープAを把持した状態でテーブル31と相対移動することにより、保護テープCを一端側から他端側に向かって次第にウェハWから剥離可能に設けられている。ここで、ウェハWから剥離された保護テープCの剥がれ部分C1と当該剥がれ部分C1に相対するダイシングテープTの粘着面Sとの間には、邪魔板44が所定のタイミングで配置されるようになっている。
請求項（抜粋）：
粘着シートの一部領域に貼着されるとともに片面に保護テープが貼着された被着体を保持してなる転写体を支持する支持体と、前記保護テープの一端側に接着された剥離テープを把持する把持手段とを備え、当該把持手段が前記剥離テープを把持した状態で支持体と相対移動することにより、前記保護テープを前記一端側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する剥離装置であって、前記被着体から剥離された保護テープの剥がれ部分と当該剥がれ部分に相対する前記粘着シートの粘着面との間に邪魔部材を配置したことを特徴とする剥離装置。
引用特許：
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