ウエハ搬送用ボックス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小杉佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106790
公開番号（公開出願番号）：特開平6-318631
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】気温、気圧、大気の変化に影響されず内部をクリーンに保つウエハ搬送ボックスを提供する。【構成】ウエハカセット2を収納した内側ボックス3に気体出入口4,5を設け、この気体出入口にフィルタ11及びファン12より構成されたクリーニングユニット14を備えた外側ボックス10を設ける。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納するカセットを収容し、気体入口及び気体出口を有する内側箱体と、該内側箱体を収納し、前記気体入口に密接する清浄空気送入装置を備えた外側箱体とからなることを特徴とするウエハ搬送用ボックス。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65D 85/00 , B65D 85/38

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