特許

J-GLOBAL ID：200903023684083991

ラビング装置

発明者： 吉野 昌明 ,  小野 俊臣
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314921
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168185
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】作業員の負担を軽減することができるとともに、作業員の経験に頼ることなくモータの駆動トルクを許容範囲内に保つことができ、ラビング不良の発生頻度を低減することのできるラビング装置を提供する。【構成】透明基板3が載置されるステージ1と該ステージ1を昇降駆動するステージ昇降用シリンダ6との間にステージ1を上下方向に昇降駆動する第2のステージ昇降機構10を設けるとともに、ラビングローラ4を駆動するモータ7の駆動トルクを検出するトルク検出器8の出力信号に基づいて第2のステージ昇降機構10を駆動制御するコントローラ11を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

透明基板が載置されるステージと、このステージの上方に設けられたラビングローラと、前記ステージの下方に設けられ前記ステージを上下方向に昇降駆動して前記透明基板に形成された配向膜を前記ラビングローラに巻き付けられたラビング布に押し付けるステージ昇降機構と、前記ラビングローラを駆動するモータと、このモータの駆動トルクを検出するトルク検出器とを具備してなるラビング装置において、前記ステージと前記ステージ昇降機構との間に前記ステージを上下方向に昇降駆動する第2のステージ昇降機構を設けるとともに、前記トルク検出器の出力信号に基づいて前記第2のステージ昇降機構を駆動制御する制御手段を設けたことを特徴とするラビング装置。