特許
J-GLOBAL ID：200903023684925674
現像液供給ノズル
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-146790
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335230
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 パターン形成精度を落とすことなく、現像欠陥を低減してウエハの歩留まりを向上させることができる現像液供給ノズルを提供する。【解決手段】 ノズル本体2下部のノズル先端部3下面に、櫛歯状の凸部4を所定間隔で突設し、ノズル先端部3から現像液を吐出しながらウエハW上のレジストR表面に現像液を塗布していくと、凸部4によってカルマン渦が現像液に発生し、カルマン渦がレジストRに付着したマイクロバブルを除去する。
請求項（抜粋）：
ノズル本体に収納された現像液をノズル先端部から吐出して、その現像液をウエハ上のレジスト表面に塗布する現像液供給ノズルにおいて、上記ノズル先端分に、ノズル先端部から櫛歯状に突出する複数の凸部を設けたことを特徴とする現像液供給ノズル。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05B 1/02
, G03F 7/30 501
, B05C 11/08
H01L 21/30 569 C
, B05B 1/02
, G03F 7/30 501
, B05C 11/08
