低負荷搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-088346
公開番号（公開出願番号）：特開2008-251653
出願日： 2007年03月29日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：

【課題】基板にかかるストレスを低減して基板割れを抑制することができ、かつメンテナンスコストを低減できる低負荷搬送装置を提供すること。【解決手段】負圧により基板1を吸着して支持する吸着ヘッド部10と、吸着ヘッド部10の内部に負圧を発生させる負圧発生手段20と、吸着ヘッド部10にて吸着した基板1を搬送する搬送手段30とを備え、吸着ヘッド部10は、基板1と対向する支持面11aに複数の吸気孔11bを有するヘッド本体部11と、ヘッド本体部11の支持面11aに取り付けられると共に複数の吸気孔11bと連通する複数の貫通孔12bを有する吸着シート部12とから構成され、吸着シート部12は、ヘッド本体部11の支持面11aに剥離可能に貼り付けられる熱可塑性エラストマーからなる粘着剤層を有することを特徴とする低負荷搬送装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

負圧により基板を吸着して支持する吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部の内部に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸着ヘッド部にて吸着した基板を搬送する搬送手段とを備え、前記吸着ヘッド部は、基板と対向する支持面に複数の吸気孔を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部の前記支持面に取り付けられると共に前記複数の吸気孔と連通する複数の貫通孔を有する吸着シート部とから構成され、前記吸着シート部は、前記ヘッド本体部の支持面に剥離可能に貼り付けられる熱可塑性エラストマーからなる粘着剤層を有することを特徴とする低負荷搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/677 , B65H 5/08 , B25J 15/06 , B65G 49/06 , B65G 49/07

FI (5件)：

H01L21/68 B , B65H5/08 B , B25J15/06 N , B65G49/06 A , B65G49/07 G

Fターム (31件)：

3C007AS01 , 3C007AS24 , 3C007DS01 , 3C007FS01 , 3C007FT07 , 3C007FT08 , 3C007FT13 , 3C007NS13 , 3F101CE11 , 3F101CE20 , 3F101CE21 , 3F101CE23 , 3F101LA16 , 3F101LB12 , 5F031CA02 , 5F031CA04 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA20 , 5F031FA21 , 5F031GA08 , 5F031GA24 , 5F031GA26 , 5F031GA32 , 5F031GA33 , 5F031GA35 , 5F031PA07 , 5F031PA13 , 5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (9件)

吸着式搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-180223 出願人：株式会社ソニー・ミュージックエンタテインメント
吸着装置、ならびに板状部材の搬送方法、液晶表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-207427 出願人：株式会社東芝
吸着パッキン
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-230538 出願人：富士写真フイルム株式会社

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審査官引用 (6件)

吸着パッキン
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-230538 出願人：富士写真フイルム株式会社
吸着保持具及び吸着吊上げ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-094757 出願人：住友金属鉱山株式会社, 真空技研工業株式会社, カジマメカトロエンジニアリング株式会社
特開昭56-015994

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