特許

J-GLOBAL ID：200903023691746637

超音波センサの製造方法および超音波センサ

発明者： 澤 井 久 仁 雄 ,  中 寺 和 哉
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-331695
出願日： 1995年06月01日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 安価で、かつ特性の安定した超音波センサを製造することができる製造方法および超音波センサを提供する。【構成】 アルミ平板36の一方面に、半田付け性の良い金属の薄膜22を、スパッタリングにより形成する。アルミ平板36はプレス加工などにより、円錐形または断面が台形で漏斗状などの形状に成形し、アルミコーン18とする、アルミコーン18はその頂点部分において、圧電振動子16上に半田20を用いて固着される。あるいは、アルミ平板34を、円錐形または断面が台形で漏斗状などの形状に成形して、アルミコーン18とする。アルミコーン18の外面に、スパッタリングにより薄膜22を形成する。アルミコーン18は、その頂点部分において、圧電振動子16上に半田20を用いて固着される。

請求項（抜粋）：

圧電振動子、および前記圧電振動子上に固着されたアルミコーンを含む超音波センサの製造方法において、前記アルミコーンの外面に、半田付け性の良い金属の薄膜を、スパッタリングにより形成する工程を含む、超音波センサの製造方法。