特許
J-GLOBAL ID:200903023692898686

物体検知装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山田 正紀 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-104920
公開番号(公開出願番号):特開平11-304945
出願日: 1998年04月15日
公開日(公表日): 1999年11月05日
要約:
【要約】【課題】本発明は、被測定物体が通過することが予定された所定の測定領域に物体が存在するか否かを検知する物体検知装置に関し、物体の存在を抜けなく、高精度に検知する。【解決手段】所定の配列方向に並ぶ複数の発光素子20と、各発光素子20から発せられた各光で、被測定物体が通過する所定の測定領域10が所定の配列方向に複数に分割されてなる各投光領域GD1,GD2,...,GD27の照射を分担させる投光光学系22と、所定の配列方向に並ぶ複数の受光素子24と、隣接する2つの投光領域を半分ずつ含むように所定の配列方向に並ぶ各受光領域GD0,GD2,...,GD28内の光を各受光素子24に導く受光光学系23と、複数の受光素子24で得られた受光信号に基づいて、測定領域10を通過する物体を検知する信号処理部とを備えた。
請求項(抜粋):
所定の配列方向に並ぶ複数の発光素子と、各発光素子から発せられた各光で、被測定物体が通過する所定の測定領域が所定の配列方向に複数に分割されてなる各投光領域の照射を分担させる投光光学系と、所定の配列方向に並ぶ複数の受光素子と、隣接する2つの投光領域を半分ずつ含むように所定の配列方向に並ぶ各受光領域内の光を各受光素子に導く受光光学系と、前記複数の受光素子で得られた受光信号に基づいて、前記測定領域を通過する物体を検知する信号処理部とを備えたことを特徴とする物体検知装置。
IPC (3件):
G01V 8/20 ,  G07B 15/00 ,  G08G 1/01
FI (3件):
G01V 9/04 M ,  G07B 15/00 B ,  G08G 1/01 K
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 被処理体検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-321269   出願人:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
  • 特開平1-132986
  • 特開平2-134593
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