特許

J-GLOBAL ID：200903023693354108

6軸力覚センサ

発明者： 杉山 進 ,  鳥山 寿之
出願人/特許権者： 関西ティー・エル・オー株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-199037
公開番号（公開出願番号）：特開2004-045044
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】使用する歪ゲージの総数を減らすことで、チップの小型化、高感度化、消費電力の低減を可能とする6軸力覚センサを提供する。【解決手段】外端部を台座2に固定されたセンサ基部3と、該センサ基部の略中央部に設けられ、外部から力が加えられる力作用部4と、前記センサ基部上に設けられ、前記センサ基部に生じる歪を検知する歪ゲージ5と、該歪ゲージの抵抗変化を測定するブリッジ回路とを具備し、前記力作用部に加えられた力を、前記センサ基部上面において互いに直交する第1軸及び第2軸と、前記センサ基部に直交する第3軸について、各軸方向への力、及び各軸回りのモーメントの6つの軸力に分けて検出する6軸力覚センサにおいて、センサ基部の上面を、シリコン半導体の面方位(111)の結晶面とした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

外端部を台座に固定されたセンサ基部と、該センサ基部の略中央部に設けられ、外部から力が加えられる力作用部と、前記センサ基部上に設けられ、前記センサ基部に生じる歪を検知する歪ゲージと、該歪ゲージの抵抗変化を測定するブリッジ回路とを具備し、前記力作用部に加えられた力を、前記センサ基部上面において互いに直交する第1軸及び第2軸と、前記センサ基部に直交する第3軸について、各軸方向への力、及び各軸回りのモーメントの6つの軸力に分けて検出する6軸力覚センサにおいて、 前記センサ基部の上面を、シリコン半導体の面方位(111)の結晶面としたことを特徴とする6軸力覚センサ。

IPC (2件)：

G01L5/16 ,  B25J19/02

FI (2件)：

G01L5/16 ,  B25J19/02

Fターム (10件)：

2F051AA10 ,  2F051AB09 ,  2F051AC01 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03 ,  3C007KS33 ,  3C007KV06 ,  3C007KW00 ,  3C007KW03