特許

J-GLOBAL ID：200903023707494277

アクティブマトリクス基板およびその製造方法並びに該基板を用いた表示装置および撮像装置

発明者： 和泉 良弘 ,  近間 義雅
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321713
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312222
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】 電極配線を厚膜化して低抵抗化することにより、例えば表示装置や撮像装置に好適に使用することができるアクティブマトリクス基板、およびその製造方法を提供する。【解決手段】 アクティブマトリクス基板は、ゲート電極2とソース電極6とが格子状に配列されてなる電極配線と、少なくとも該電極配線上に形成され、ソース電極6上の所定の領域に開口部11aを有する絶縁保護膜と、上記開口部11aにおけるソース電極6上に積層された金属層とを備えている。従って、ソース電極6上に金属層が積層されているので、該金属層によってソース電極6の厚膜化を容易に図ることができ、ソース電極6を充分に低抵抗化することができる。

請求項（抜粋）：

走査電極と信号電極とが格子状に配列されてなる電極配線と、少なくとも該電極配線上に形成され、走査電極および/または信号電極上の所定の領域に開口部を有する絶縁膜と、上記開口部における電極上に積層された金属層とを備えていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。

IPC (8件)：

G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 330 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 27/14 ,  H01L 27/146 ,  H01L 29/786 ,  H04N 5/32 ,  H04N 5/335

FI (8件)：

G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 330 Z ,  H04N 5/32 ,  H04N 5/335 U ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 C ,  H01L 29/78 612 C

Fターム (107件)：

2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA35 ,  2H092JA38 ,  2H092JA39 ,  2H092JA42 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB38 ,  2H092JB52 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA11 ,  2H092MA12 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  2H092PA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA14 ,  4M118CA11 ,  4M118CA14 ,  4M118CB05 ,  4M118CB11 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  4M118FB19 ,  5C024AX11 ,  5C024CY47 ,  5C024HX44 ,  5C094AA04 ,  5C094AA05 ,  5C094AA14 ,  5C094AA24 ,  5C094BA03 ,  5C094BA21 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA10 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5F110AA03 ,  5F110BB01 ,  5F110BB10 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE41 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF24 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG44 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL08 ,  5F110HL11 ,  5F110HL21 ,  5F110HL26 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN73