耐食性セラミック部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-337224
公開番号（公開出願番号）：特開2000-159572
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】耐プラズマ性に優れるセラミック部材を提供する。【解決手段】フッ素系や塩素系等のハロゲン系腐食性ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、イットリアとYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)の両結晶相を主体とするセラミックスで構成する。

請求項（抜粋）：

フッ素系や塩素系等の腐食性ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、イットリア35〜80モル%、アルミナ20〜65モル%の組成比からなり、イットリアとYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)の両方の結晶相を主体として含む焼結体で構成したことを特徴とする耐食性セラミック部材。

IPC (3件)：

C04B 35/44 , C04B 35/10 , C04B 35/50

FI (3件)：

C04B 35/44 , C04B 35/50 , C04B 35/10 Z

Fターム (10件)：

4G030AA12 , 4G030AA36 , 4G030BA01 , 4G030BA33 , 4G030CA01 , 4G031AA08 , 4G031AA29 , 4G031BA01 , 4G031BA26 , 4G031CA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

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