特許

J-GLOBAL ID：200903023725980561

フルオロ化されたエチレングリコール基を有する感光性ポリマー及びこれを含む化学増幅型レジスト組成物

発明者： 崔 相 俊 ,  文 周 泰 ,  禹 相 均 ,  尹 広 燮 ,  宋 基 鎔
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-324050
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277443
出願日： 2002年11月07日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 透過度および乾式エッチングに対する耐性など、レジスト組成物の特性を向上させる感光性ポリマーを提供し、さらに微細なパターン形成を可能にする。【解決手段】 次の構造の反復ユニット:【化1】(式中、式中、R1は水素原子またはメチル基であり、R2はフルオロ化されたエチレングリコール基を有するC3〜C10の炭化水素基である。)を有する感光性ポリマーによって上記課題は解決される。

請求項（抜粋）：

次の構造の反復ユニット:【化1】(式中、R1は水素原子またはメチル基であり、R2はフルオロ化されたエチレングリコール基を有するC3〜C10の炭化水素基である。)を有する感光性ポリマー。

IPC (8件)：

C08F 20/26 ,  C08F212/14 ,  C08F220/10 ,  C08F220/42 ,  C08F232/04 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

C08F 20/26 ,  C08F212/14 ,  C08F220/10 ,  C08F220/42 ,  C08F232/04 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (32件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07R ,  4J100AJ03Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AR11S ,  4J100BA03R ,  4J100BA03S ,  4J100BA07P ,  4J100BA15S ,  4J100BA22R ,  4J100BB12P ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18R ,  4J100BB18S ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭64-024815
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• `Copolymerization of fluorooxaalkyl acrylates with methyl methacrylate'