特許
J-GLOBAL ID：200903023727286832
スパツタリングカソード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244982
公開番号（公開出願番号）：特開平5-059540
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 ボンディングを不要とした構造のスパッタリングカソードを提供することを目的としている。【構成】 裏板1の外側面内に凹部5が形成してある。凹部5を覆うようにしたターゲット材2は、裏板1の外周縁段部6に設置した押えリング8で、締付け固定されている。ターゲット材2は、外周縁段部6と接する部分を支点として凹部5側に変形する力を受けて、裏板1の対向面と互いに当接している。凹部5は断面が弧状に湾曲した凹部としたり、断面矩形の凹部とする。ターゲット材2と裏板1の間に可撓性伝熱シート材を介在させても良い。
請求項（抜粋）：
冷却水で冷却される裏板の外側面にターゲット材を設けてなるスパッタリングカソードにおいて、前記裏板の外側面内に凹部が形成してあり、前記ターゲット材が凹部を覆うように設置され、かつターゲット材が、前記凹部の外周縁段部と接する部分を支点として、凹部側に変形する力を受けて、締付け固定され、ターゲット材と裏板の対向面が互いに当接していることを特徴とするスパッタリングカソード。
引用特許：
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