特許

J-GLOBAL ID：200903023727938252

基体保持装置

発明者： 西山 哲 ,  森野 弘
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195823
公開番号（公開出願番号）：特開平9-025574
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【課題】 凹凸形状の3次元構造物である基体の表面に均一に成膜或いはイオン照射をできるようにする。【解決手段】 チャンバ1内に気密に導入された回転軸21と、裏面中央部が回転軸21の先端に自在継手23を介して連結され,表面に基体32を保持する保持体22と、回転軸21にほぼ平行に設けられ,回転軸21を中心にほぼ等間隔に位置し,先端が保持体22の裏面に当接した複数個の揺動用軸30と、各揺動用軸30を各揺動用軸30の軸方向に順次移動させる移動手段31とを備える。

請求項（抜粋）：

表面に成膜或いはイオン照射される基体を保持する基体保持装置において、チャンバ内に気密に導入された回転軸と、裏面中央部が前記回転軸の先端に自在継手を介して連結され表面に前記基体を保持する保持体と、前記回転軸にほぼ平行に,かつ,前記回転軸を中心にほぼ等間隔の位置に設けられ,先端が前記保持体の裏面に当接した複数個の揺動用軸と、該各揺動用軸を該各揺動用軸の軸方向に順次移動させる移動手段とを備えた基体保持装置。