特許
J-GLOBAL ID：200903023731770595
液晶カラーフィルタの溝加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-253105
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094683
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【課題】 安価な設備費で効率良く高精度の溝を微細加工し得る液晶カラーフィルタの溝加工方法を提供する。【解決手段】 エキシマレーザのレーザ光をカライドスコープで均一な矩形のレーザ光に整形した後、多数のスリット16aを有するマスク16に照射し、さらにこのマスク16を透過したレーザ光を縮小投影光学系17で線状ビームのレーザ光とし、この線状ビームのレーザ光を液晶カラーフィルタIに照射して溝を加工するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
三原色である赤,緑,青に対応する線状の高分子顔料で形成するとともに、各高分子顔料をその幅方向で順次隣接するように交互に並べ、基板上に透明電極を介して形成した複数本の着色層に、その幅方向に伸びる溝を、複数本形成してマトリックス状の着色層を形成する場合における液晶カラーフィルタの溝加工方法において、レーザ光をビーム均一化素子としての矩形波導波管を通すことにより均一な矩形のレーザ光を形成し、この矩形のレーザ光を複数本のスリットを有するスリット状マスクを通した後、縮小投影光学系を介して投影することにより複数本の線状ビームを形成するとともに、この線状ビームを上記着色層に照射する一方、線状ビーム若しくは液晶カラーフィルタを線状の着色層の長手方向に移動することにより一度に複数本の上記溝を形成することを特徴とする液晶カラーフィルタの溝加工方法。
IPC (4件)：
B23K 26/00
, B23K 26/06
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
B23K 26/00 D
, B23K 26/06 C
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
