特許

J-GLOBAL ID：200903023734789017

ステージ装置

発明者： 蛯原 明光
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289109
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116779
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 高速、高精度にステージ上に搭載される試料を位置決めする。【解決手段】 制御手段30では、第1、第2の位置計測手段34、36の計測値と目標値とに基づいて第1、第2モータ22、26を制御する。この際、モータ26に対して出力される指令値の加速度成分に比べて滑らかでかつ極めて小さい加速度成分を有する指令値をモータ22に出力する。ステージ18はステージ16に比べて質量が極めて小さいので、高加速度で移動しても、その反力が除振台14にもたらす影響は小さく、また、質量の大きいステージ16は低加速度で移動するのでその反力も小さい。ステージ18は機構的に高応答性を有するので、高いサーボ剛性を持たせることができ、ステージ16のサーボ剛性を低く設定して、ステージ16が除振台14を含む装置本体の機械的共振を励起するのを防止できる。

請求項（抜粋）：

除振パッドを介して水平に保持された除振台上を所定の移動方向に移動可能な第1ステージと;前記第1ステージに搭載され、当該第1ステージに対して前記移動方向に相対移動可能で、前記第1ステージに比べて、機構的に高応答特性を有しかつ質量が極めて小さい第2ステージと;前記第1ステージ又は第2ステージの位置を計測する第1の位置計測手段と;前記第1ステージと前記第2ステージとの相対位置を計測する第2の位置計測手段と;前記第1ステージを駆動する第1の駆動手段と;前記第2ステージを駆動する第2の駆動手段と;前記第1、第2の位置計測手段の計測値と目標値とに基づいて前記第1、第2の駆動手段を制御するとともに、前記第2の駆動手段に対して出力される指令値の加速度成分に比べて滑らかでかつ極めて小さい加速度成分を有する指令値を前記第1の駆動手段に出力する制御手段とを有するステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/30 516 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-141707
  
• 特開平2-073411
  
• 特開平4-141707
  
• 特開平2-073411