特許
J-GLOBAL ID:200903023760206011
ガリウムの精製方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森 哲也 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-304177
公開番号(公開出願番号):特開2001-123232
出願日: 1999年10月26日
公開日(公表日): 2001年05月08日
要約:
【要約】【課題】 除去が難しい鉛などの不純物を再結晶法を用いずに除去することができ、生産性が高く、半導体原料として使用可能な純度99.9999%以上のガリウムを低コストで得られるガリウムの精製方法を実現する。【解決手段】 ガリウムに亜鉛を添加した後、攪拌混合しながらアルゴンまたは窒素雰囲気中で420〜910°Cに加熱保持することで鉛などの不純物を亜鉛と共沸混合物とし、次に真空に引きながら800〜1000°Cで加熱して不純物と亜鉛を蒸発除去し、最後にガリウム中に残留した亜鉛結晶粒および酸化物,皮膜をろ過分離する。
請求項(抜粋):
ガリウムに亜鉛を添加してアルゴンまたは窒素雰囲気中で420〜910°Cに加熱保持し、次に真空に引きながら800〜1000°Cで加熱した後、ろ過することを特徴とするガリウムの精製方法。
IPC (3件):
C22B 58/00
, C22B 9/02
, C22B 9/10 101
FI (3件):
C22B 58/00
, C22B 9/02
, C22B 9/10 101
Fターム (9件):
4K001AA11
, 4K001BA22
, 4K001BA23
, 4K001EA01
, 4K001EA02
, 4K001EA06
, 4K001GA19
, 4K001GB05
, 4K001HA05
引用特許:
前のページに戻る