特許

J-GLOBAL ID：200903023764446475

真空脱ガス装置

発明者： 徳光 清典 ,  友末 邦夫 ,  牟田 義文 ,  中川 晃成
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227192
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066169
出願日： 1991年09月06日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】 長時間安定運転が可能で、信頼性の高い真空脱ガス装置を得ることを目的とする。【構成】 端部に熱伝導真空計8を取り付けたL字形の介在部材11を、配管6内のガスの上流方向に熱伝導真空計8が位置するように配管6に取り付けるとともに、介在部材11にフィルター12を内蔵させた。

請求項（抜粋）：

真空容器と真空ポンプとを接続する配管にセンサ部を有する真空計が取り付けられた真空脱ガス装置において、端部に前記真空計を取り付けたL字形の介在部材を、前記配管内のガスの上流方向に真空計が位置するように前記配管に取り付けるとともに、前記介在部材にフィルターを内蔵させたことを特徴とする真空脱ガス装置。