特許

J-GLOBAL ID：200903023765801210

基板の選択的撥水処理方法、遮光部材形成基板及び映像素子用カラーフィルター基板

発明者： 吉川 俊明 ,  亀山 誠 ,  岩田 研逸 ,  小佐野 永人 ,  鈴木 博幸 ,  松久 裕英
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-178999
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033711
出願日： 1995年07月14日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 色特性が優れ、表面平滑性良好な誘電体基板の選択的撥水処理方法、金属薄膜形成基板及び映像素子用カラーフィルター基板を提供することを目的とする。【解決手段】 部分的に金属部を形成してなる誘電体基板上にシランカップリング剤からなる撥水層を形成した後、該誘電体基板表面に酸素プラズマを照射することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

部分的に遮光部材を形成してなる基板上にシランカップリング剤からなる撥水層を形成した後、該基板表面に酸素プラズマを照射することを特徴とする誘電体基板の選択的撥水処理方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  C03C 17/30 ,  G02F 1/1335 505

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  C03C 17/30 B ,  G02F 1/1335 505

引用特許：

審査官引用 (1件)

• カラーフイルタおよび液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-160572   出願人：株式会社東芝, 東芝電子エンジニアリング株式会社