特許

J-GLOBAL ID：200903023766778963

ガラス基板圧着装置

発明者： 豊島 明樹 ,  三宅 史郎 ,  安達 光平
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194103
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034653
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】 基板表面を非接触で均一に加圧圧着でき、不良発生が低減できるとともに、液晶表示装置の製造工程が容易で、かつ簡略なガラス基板圧着装置を提供する。【構成】 基板重合体の周辺部を基板重合体の上下から真空パッキング8を介して中空部材5、6で挟み、中空部材の一部に設けられた排気口9より、上記中空部材と上記真空パッキングと上記基板重合体とで上記基板重合体の周辺部につくられる密閉空間の排気を行ない、基板重合体内部の気圧を下げ、基板重合体外部の気圧と上記基板重合体内部の気圧との圧力差により基板重合体を圧着するようにする。

請求項（抜粋）：

液晶表示素子を構成し、その表面に電極パターンを有する上下1対の電極基板を、塗布または印刷されたシール材を介して重ね合わせた基板重合体を圧着するガラス基板圧着装置において、上記基板重合体の周辺部を上記基板重合体の上下から真空パッキングを介して挟む中空部材、及び上記中空部材の一部に設けられ、上記中空部材と上記真空パッキングと上記基板重合体とで上記基板重合体の周辺部につくられる密閉空間の排気を行なう排気口を備え、基板重合体内部の気圧を上記排気口を通して下げ、基板重合体外部の気圧と上記基板重合体内部の気圧との圧力差により基板重合体を圧着するようにしたことを特徴とするガラス基板圧着装置。