波長選択機能を利用した検査対象物の検査

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-328190
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130811
出願日： 2001年10月25日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】任意の検査対象物を検査する際に、検査対象物の画像を取得するのに適した波長域を容易に決定することができる技術を提供する。【解決手段】検査対象物上の検査対象領域について、複数の波長域の光に関する複数の画像をそれぞれ取得する。そして、複数の画像に関して画像特徴量を算出し、この画像特徴量に基づいて検査に適した波長域R7を選択する。検査時には、選択された波長域R7の光に関して各検査対象物の画像を順次取得し、その画像に基づいて、各検査対象物の検査を実行する。

請求項（抜粋）：

同一種類の複数の検査対象物を順次検査する方法であって、(a)前記複数の検査対象物の中の少なくとも1つの検査対象物上の検査対象領域について、複数の波長域の光に関する複数の画像をそれぞれ取得する工程と、(b)前記複数の画像に基づいて、前記複数の波長域の中から検査に適した波長域を少なくとも1つ選択する工程と、(c)前記選択された波長域の光に関して各検査対象物の画像を順次取得する工程と、(d)前記選択された波長域の光に関する各検査対象物の画像に基づいて、各検査対象物の検査を実行する工程と、を備えることを特徴とする検査対象物の検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G01N 21/27 , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 300 , G01B 11/24

FI (6件)：

G01N 21/956 B , G01N 21/27 Z , G06T 1/00 300 , G06T 7/00 300 F , G01B 11/24 K , G01B 11/24 F

Fターム (78件)：

2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065GG24 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL22 , 2F065PP12 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2F065RR09 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2G051AA65 , 2G051AB11 , 2G051AB14 , 2G051BA08 , 2G051BA20 , 2G051BB07 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051ED07 , 2G051FA10 , 2G059AA05 , 2G059BB10 , 2G059BB15 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059EE11 , 2G059FF08 , 2G059GG10 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059HH06 , 2G059JJ02 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM02 , 2G059MM03 , 2G059MM05 , 2G059MM09 , 2G059MM10 , 2G059PP04 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA01 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CH07 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB06 , 5B057DB09 , 5B057DC22 , 5B057DC23 , 5B057DC30 , 5B057DC32 , 5L096AA02 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA04 , 5L096FA32 , 5L096FA37 , 5L096JA11 , 5L096JA18

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