特許
J-GLOBAL ID:200903023767854698
光学部品の洗浄方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-381946
公開番号(公開出願番号):特開2002-177908
出願日: 2000年12月15日
公開日(公表日): 2002年06月25日
要約:
【要約】【課題】 耐水性、耐洗浄剤性が小さな光学部品を潜傷の発生なく、高い洗浄品質で洗浄する。【解決手段】 被洗浄物である光学部品2に超音波振動を印加した液体6をかけ流して洗浄する。
請求項(抜粋):
被洗浄物である光学部品に超音波振動を印加した液体をかけ流す工程を有することを特徴とする光学部品の洗浄方法。
IPC (4件):
B08B 3/12
, B08B 3/08
, B08B 3/10
, G02B 1/10
FI (4件):
B08B 3/12 Z
, B08B 3/08 Z
, B08B 3/10 Z
, G02B 1/10 Z
Fターム (14件):
2K009BB02
, 2K009DD00
, 2K009EE00
, 3B201AA46
, 3B201AB38
, 3B201BB02
, 3B201BB21
, 3B201BB82
, 3B201BB85
, 3B201BB93
, 3B201BB95
, 3B201CB15
, 3B201CC12
, 3B201CC21
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