特許

J-GLOBAL ID：200903023769060982

レジスト塗布装置

発明者： 八尾 泰敬 ,  江本 辰弥 ,  山崎 信哉 ,  大津 政夫 ,  柴 光明 ,  並木 淳一 ,  坪香 智昭 ,  佐々木 晴夫 ,  市村 幸雄
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-215928
公開番号（公開出願番号）：特開平9-062009
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】レジスト塗布装置のレジスト切換え時の停止時間を短縮して作業効率を向上すると共に、製品フローエリアのクリーン度の低下を抑制できる構成としたレジスト塗布装置を提供する。【解決手段】ガラス基板搬送部1、レジスト塗布部2、レジスト配管系4、レジスト受け皿5、および上記ガラス基板搬送部1、レジスト塗布部2、レジスト配管系4、レジスト受け皿5を装架してレジスト塗布装置を構成するための架台3とからなるレジスト塗布装置において、レジスト受け皿5とレジスト配管系4を台車6に搭載し、この台車ごと架台3に対して一括して着脱交換可能とした。

請求項（抜粋）：

ガラス基板を水平搬送するためのガラス基板搬送部と、前記ガラス基板搬送部により搬入されるガラス基板の下面にレジストを塗布するためのレジスト塗布部と、前記レジスト塗布部にレジスト溶液を供給するためのレジスト配管系とを有するレジスト塗布装置であって、前記レジスト塗布部が、前記ガラス基板搬送部により搬入されるガラス基板の下面に位置して前記下面にレジスト溶液を塗布するためのロッドバーと、前記ロッドバーに対して前記ガラス基板を挟持搬送するニップローラと、前記ロッドバーを回転可能に支持して前記レジスト配管系からのレジスト溶液を貯留して前記ロッドバーの表面に供給するレジスト受け皿とからなり、前記ガラス基板搬送部と前記ニップローラおよび前記ニップローラを前記ロッドバーに対して昇降させるニップローラ駆動系とを装架すると共に前記レジスト受け皿を着脱可能に保持するベースを有する架台と、前記レジスト配管系をユニットとして搭載し、前記架台のベースから取り外したレジスト受け皿を載せ替え固定する受け皿載せ替えブロックを設けた天板および移動用のキャスタとを少なくとも具備する台車とを有し、前記ロッドバーを支持する前記レジスト受け皿を前記天板に載せ替えると共に、前記台車を前記架台に対して一括して着脱交換可能としたことを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (3件)：

G03F 7/16 501 ,  B05C 11/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/16 501 ,  B05C 11/02 ,  H01L 21/30 564 C