特許

J-GLOBAL ID：200903023772921972

珪フッ化アンモニウムのクリーニング方法

発明者： 毛利 勇 ,  藤井 正 ,  小林 義幸
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-234515
公開番号（公開出願番号）：特開平6-080962
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】薄膜形成装置、配管等に付着、堆積した窒化珪素をNF3 等でプラズマクリーニングした際、生成する珪フッ化アンモニウムを主成分とする化合物を除去する。【構成】該化合物とClF3 ガスあるいはF2 ガスとを接触反応させる。

請求項（抜粋）：

シラン、クロロシラン等を原料として窒化珪素膜を成膜する装置内部、器壁および配管に堆積した窒化珪素膜をNF3 等のフッ化物ガスでプラズマクリーニングした際、生成する珪フッ化アンモニウムを主成分とする化合物とClF3 ガスあるいはF2 ガスとを接触反応させることを特徴とする該化合物のクリーニング方法。