特許
J-GLOBAL ID：200903023776568282
イオンビーム加工装置用イオン源の運転方法及びイオンビーム加工装置の運転方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353877
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235835
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】パーティクルによるブレークダウンの発生頻度を低減し、装置の長時間の安定した状態での運転、装置清掃作業等のメンテナンス作業の最小化による装置稼動時間の向上を図る。【解決手段】真空容器中にガスを導入し、該ガスをプラズマ化して電界を与え、該プラズマ中のイオンをイオンビームとして引き出すイオン源1であって、そのイオン電源が、アーク電源7と、イオンビームを引き出すために加速電極2に正の電位を印加する加速電源8と、電子の流入を防止するために減速電極3に負の電位を印加する減速電源9とを備えて構成され、該イオン源を運転する際には、前記加速電極に前記正の電位を印加した後に、前記減速電極に前記負の電位を印加するようにした。
請求項（抜粋）：
イオンビーム加工装置用イオン源の運転方法であって、前記イオン源は、アーク電源と、イオンビームを引き出すために加速電極に正の電圧を印加する加速電源と、イオン源への電子の流入を防止するために減速電極に負の電圧を印加する減速電源とを備え、該イオン源内にガスを導入し、そのガスをプラズマ化して電界を与えて該プラズマ中のイオンをイオンビームとして引き出すように構成されており、前記加速電源が前記加速電極に正の電圧を印加した後に、前記減速電源が前記減速電極に負の電圧を印加するようにしたイオンビーム加工装置用イオン源の運転方法。
IPC (5件)：
H01J 27/08
, C23C 14/46
, C23C 14/48
, H01J 37/08
, H01J 37/30
H01J 27/08
, C23C 14/46 B
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/08
, H01J 37/30 Z
