特許
J-GLOBAL ID：200903023784322993
積み重ねられた物体の位置検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062568
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280512
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハを検出するための光学的装置をホルダの一方の側に設けることにより配線を簡単にし据付けを容易にする。【構成】 ホルダ22内の物体20の位置はホルダの一方の側に設けられたエミッタLA,LBからの1対の光線40,42によって決められる。投射された光線はホルダの他方の側の反射板38により反射されホルダの一方の側の検出器LB,LAにより受けられる。物体が光線を横切って移動するにつれて、コンピュータが検出器からの信号を分析して物体の位置の正否を判別する。
請求項（抜粋）：
第1と第2の対向する側面を有するホルダ内にある複数の物体の位置を検出するためのシステムであって、前記システムが、前記ホルダを通過する方向に向けられた第1の投射光線を生成させるための、前記ホルダの第1の側面の側に配置された第1のエミッタと、前記ホルダ内を通して少なくとも部分的に第1の投射光線を反射させて戻すための、前記ホルダの第2の側面の側に配置されている反射板と、前記ホルダの第1の側面の側に配置されて、前記反射板による反射の後の第1の投射光線を受け、そして前記受けた第1の投射光線の強さを示す第1の信号を生成する第1の検出器と、前記第1の投射光線で前記ホルダ内の複数の物体を走査するための機構と、前記検出器よりの第1の信号を受信し、前記信号に応答して物体が前記ホルダ内で正しい位置にあるかどうかを表示する電子回路とを備えてなる積み重ねられた物体の位置検出システム。
IPC (2件)：
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