特許
J-GLOBAL ID：200903023788216896
マイクロバルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129408
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341556
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 導入口と導出口を遮断した場合のシール性能が高いマイクロバルブを提供する。【構成】 導入口5及び導出口6が形成されたガラス2と、可動部1aを有するSi基板1と、電極4を有するガラス3とから構成されており、可動部1aには不純物がイオン注入されて高硬度部7を形成している。この高硬度部7とガラス2とは硬度差が大きいので可動部1aがガラス2に接触した場合に密着度が高まる。
請求項（抜粋）：
シリコンまたはガラスと、前記シリコンまたはガラス上に形成され、流体シール部を備えた可動部を有するシリコン基板と、前記シリコン基板上に形成され、気体または液体を導入する導入口と出力する導出口とを有するシリコンまたはガラスとを備え、前記可動部または可動部に対向するシリコンまたはガラスの少なくとも一方に不純物がイオン注入されたことを特徴とするマイクロバルブ。
IPC (2件)：
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