特許

J-GLOBAL ID：200903023789117433

強誘電体作製方法

発明者： 酒巻 真一
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067539
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261823
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 緻密な強誘電体膜を低温で作製し、更に圧電性能を向上させる事。【解決手段】 ゾルゲル法で合成した強誘電体微粒子を用いて強誘電体を作製する。よって、焼成温度を下げることが可能となり工程の簡略化が計れ、電極材料選択の幅が広がり、その結果低コスト化が可能となる。更に、微粒子の粒径のバラツキが少ない事から、均質性に優れ、性能バラツキの少ない強誘電体を製造する事が可能となる。

請求項（抜粋）：

粒子の平均粒径が0.1μm以下である強誘電体微粒子を用いる事を特徴とする強誘電体作製方法。

IPC (3件)：

H01L 41/09 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/24

FI (3件)：

H01L 41/08 C ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/22 A