特許
J-GLOBAL ID:200903023794613732
炭素からなる骨格を持つ薄膜状粒子を基板に載せた構造物およびその作製方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
永井 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-032881
公開番号(公開出願番号):特開2003-231097
出願日: 2002年02月08日
公開日(公表日): 2003年08月19日
要約:
【要約】【課題】 炭素からなる骨格を持つ薄膜状粒子を基板に載せた構造物とその作製方法を提供する。【解決手段】 炭素からなる骨格を持つ薄膜状粒子を、粒子との親和性を向上させた基板に載せ、粒子内部または多数の粒子について基板上でパターン形成させる。また、その寸法と形状などで電気的性質を変化させる。この構造物は、周期構造を持つ炭素系物質に固有の電子物性や安定性などを簡便に利用できる新規な系であり、微細な回路(素子や配線)、高温用の回路(同)、光電変換素子(太陽電池、発光素子など)、発熱体、光学素子、安定な記録材料などへの応用が可能である。
請求項(抜粋):
(a)黒鉛を酸化して得られる、厚さが0.4nm〜10μm、平面方向の大きさが厚さの2倍以上で、比誘電率が15以上の液体に親液性があり、炭素からなる骨格を持つ、酸化型の単独または複数個の薄膜状粒子、または、その酸化型の薄膜状粒子が複数個で積層かつ互いに結合した酸化型の積層集合体、または、(b)それらの酸化型の薄膜状粒子や酸化型の薄膜状粒子の積層集合体を酸素含有率が0〜35wt%になるように部分的または完全に還元して得られる還元型の単独または複数個の薄膜状粒子またはその還元型の積層集合体と、(c)基板とが互いに接触されて構成された構造物。
IPC (9件):
B82B 1/00
, C01B 31/04 101
, H01B 1/24
, H01B 5/02
, H01B 5/14
, H01L 21/288
, H01L 21/3205
, H01L 29/06 601
, H01L 51/00
FI (9件):
B82B 1/00
, C01B 31/04 101 B
, H01B 1/24 Z
, H01B 5/02 A
, H01B 5/14 Z
, H01L 21/288 M
, H01L 29/06 601 N
, H01L 21/88 B
, H01L 29/28
Fターム (33件):
4G046EA06
, 4G046EB00
, 4G046EB06
, 4G046EB13
, 4G046EC02
, 4G046EC03
, 4G046EC05
, 4G046EC06
, 4M104BB36
, 4M104DD21
, 4M104DD51
, 4M104DD65
, 4M104DD78
, 4M104DD79
, 4M104DD81
, 5F033HH00
, 5F033HH35
, 5F033PP26
, 5F033QQ00
, 5F033QQ14
, 5F033QQ53
, 5F033QQ59
, 5F033QQ64
, 5F033QQ65
, 5F033QQ73
, 5F033QQ91
, 5F033WW01
, 5F033WW02
, 5F033WW03
, 5F033WW04
, 5G301DA18
, 5G301DD10
, 5G307GA08
引用特許: