特許
J-GLOBAL ID：200903023802748081
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080217
公開番号（公開出願番号）：特開平7-284738
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】例えば部品中央のフィルター膜面に影響を与えないように、カラーフィルターの周辺部のシール部のみを選択的にかつ自動的に洗浄でき、従って効率的かつ歩留り良く局所的洗浄ができる洗浄装置を提供する。【構成】被洗浄体の周辺部等局所表面を洗浄する洗浄装置であって、洗浄液を一定の圧力で供給する内管と、該内管の洗浄液供給力より大きい回収力で洗浄液を回収する外周管とからなる洗浄器と、前記被洗浄体の被洗浄面と洗浄器とを、接触状態で相対的にX-Y方向に移動させる担送機構とからなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被洗浄体の周辺部等局所表面を洗浄する洗浄装置であって、洗浄液を一定の圧力で供給する内管と、該内管の洗浄液供給力より大きい回収力で洗浄液を回収する外周管とからなる洗浄器と、前記被洗浄体の被洗浄面と洗浄器とを、接触状態で相対的にX-Y方向に移動させる担送機構とからなることを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 3/02
, H01L 21/304 341
