特許

J-GLOBAL ID：200903023815277401

磁気抵抗センサ

発明者： 添谷 進
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031683
公開番号（公開出願番号）：特開平10-228609
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】スピンバルブ諸特性,バルクハウゼンノイズレス,再生出力に優れ、狭トラック対応の高感度二重スピンバルブセンサを提供する。【解決手段】反強磁性膜11,強磁性膜12,非磁性膜13,強磁性膜14,非磁性膜15,強磁性膜16,反強磁性膜17を順次積層した二重スピンバルブセンサ層で、反強磁性膜11を、面心立方格子の結晶構造を有しかつ規則相を有する反強磁性膜とし、Mn3Rh,Mn3(RhPt)あるいはMn3Pt 規則相合金膜である。

請求項（抜粋）：

第一の反強磁性膜,第一の強磁性膜,第一の非磁性膜,第二の強磁性膜,第二の非磁性膜,第三の強磁性膜,第二の反強磁性膜を順次積層した二重スピンバルブセンサ層をセンサ中央活性領域にのみ形成し、前記中央活性領域両端部に前記二重スピンバルブセンサ層と電気的連続性を保ちながら隣接接合して形成した一対の磁区制御層と信号検出電極とを含む磁気抵抗センサにおいて、前記第一の反強磁性膜が、面心立方格子の結晶構造を有しかつ規則相であることを特徴とする磁気抵抗センサ。