X線単結晶方位測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横川邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343172
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167463
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】結晶方位判定の基準としてV字形状溝を用いる形式のSiウエハに関して、そのウエハ内部の結晶方位に対するそのV字形状溝の位置をX線を用いて確実に測定できるX線単結晶方位測定装置を提供する。【構成】単結晶Siウエハ24に向けてX線R1を照射するX線源21と、ウエハ24で回折した回折線R2を検出するX線カウンタ22とを備えたX線単結晶方位測定装置であって、ウエハ24の外周面に当接する2個のガイドローラ19と、それらガイドローラ19を結ぶ線分L1に関する垂直2等分線L2上に配置される嵌合ピン18と、その嵌合ピン18を2個のガイド部材19へ向かう方向へ弾性的に付勢する圧縮バネ23とを有するX線結晶方位測定装置。

請求項（抜粋）：

方位確認用の溝を備えた単結晶試料に関して、単結晶内部の結晶軸方位に対する上記の溝の相対位置を測定するX線単結晶方位測定装置であって、単結晶試料に向けてX線を照射するX線源と、単結晶試料で回折した回折線を検出するX線検出器とを備えたX線単結晶方位測定装置において、単結晶試料の外周面に当接する2個のガイド部材と、それら2個のガイド部材を結ぶ線分に関する垂直2等分線上に配置される嵌合部材と、その嵌合部材を上記2個のガイド部材へ向かう方向へ弾性的に付勢する弾性付勢手段とを有することを特徴とするX線結晶方位測定装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-190751
特開昭63-266850
特開昭62-045145

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