X線検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：喜多俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-192458
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004668
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 X線管のXY偏向用のステアリングコイルに流す電流を容易に調整し、X線像検出装置の出力を最高にすることができるX線検査装置を提供する。【解決手段】負の高電圧が印加された陰極フィラメント1から電子が放出しウェネルト電極2によって集束し、陽極3によって高速に加速し陽極3の中央の穴に入る。その電子ビームは、ステアリングコイル4によって偏向し、フォーカスコイル5によって集束し、ターゲット6に衝突する。発生した透過方向のX線は、X線像検出装置7に入射し、輝度出力の画像信号としてPC8に入る。光軸補助ソフトウエア9によって、XY偏向指示信号が出力され、X線制御装置10を介してステアリングコイル4に流す電流値を変化させ、画像信号が最大になるXY偏向値に自動的に設定される。

請求項（抜粋）：

電子発生部で発生し加速された電子ビームを集束手段により集束しつつターゲットに衝突させてX線を発生するX線管と、このX線管から発生したX線を試料に照射して透過像を検出するX線像検出装置を備えたX線検査装置において、前記電子線発生部と集束手段との間に配置され2次元的に電子ビームを偏向する偏向手段と、前記偏向手段による偏向量を2次元的に走査する走査手段と、前記電子ビームを前記走査手段によって走査しながら前記X線像検出装置によってX線の強度を計測する手段と、この計測手段によって求められた計測値が最高値となる前記偏向手段による偏向量を求めて前記偏向手段に設定する設定手段を備えたことを特徴とするX線検査装置。

IPC (4件)：

G01N 23/04 , G21K 5/02 , H01J 35/14 , H05G 1/00

FI (4件)：

G01N 23/04 , G21K 5/02 X , H01J 35/14 , H05G 1/00 E

Fターム (15件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA09 , 2G001FA06 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA01 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 4C092AA08 , 4C092AC08 , 4C092BD16

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