特許
J-GLOBAL ID：200903023827806760
赤外線検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-172188
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043051
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【目的】 完全に新規なタイプの選択式赤外線検出器を達成する。【構成】 断熱基板(1)に積層された赤外線放射吸収層(7,44)と、その金属吸収層(44)に吸収された放射量を検出する検出手段(11,24,25)とからなり、シリコン加工化で製造された赤外線検出器であって、放射パス上にその吸収層(7,44)が配置される前に、電気的に制御可能なファブリー・ペロ干渉計(1,2,5)がシリコン加工技術によって製造されると共に、干渉計のミラー(1,2)の一方に不可欠な要素として連結された吸収層(7,44)を有するものである。
請求項（抜粋）：
断熱基板(1)に積層された赤外線放射吸収層(7,44)と、前記吸収層(44)に吸収された放射量を検出する熱検出手段(11,24,25)とからなり、シリコン加工化で製造された赤外線検出器において、放射パス上に前記吸収層(7,44)が配置される前に、電気的に調整可能なファブリー・ペロ干渉計(1,2,5)がシリコン加工技術によって製造されると共に、該干渉計のミラー(1,2)の一方に不可欠な要素として連結された該吸収層(7,44)を有することを特徴とする赤外線検出器。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01J 3/42
, G01N 21/61
, G02F 1/00
G01J 1/02 C
, G01J 3/42 U
, G01N 21/61
, G02F 1/00
