特許

J-GLOBAL ID：200903023834426884

金属酸化物膜の製造方法

発明者： 福井 俊巳 ,  土岐 元幸
出願人/特許権者： 株式会社関西新技術研究所
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187209
公開番号（公開出願番号）：特開2000-016812
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】 ゾル-ゲル法を用いて、耐熱性の低い基体上や膜特性に悪影響を与える元素を含む基板の表面にも緻密で均質性の高い金属酸化物膜を形成でき、膜の微細組織の改善のために余分なエネルギーを必要としない製造方法を提供する。【手段】 金属アルコキシドまたは金属塩を出発原料として得られる金属酸化物塗布液を基体の表面に塗布して塗布膜を形成し、その塗布膜に対して波長が360nm以下である紫外光を照射した後、塗布膜を加熱処理して金属酸化物を結晶化させる。

請求項（抜粋）：

金属アルコキシドまたは金属塩を出発原料として得られる金属酸化物塗布液を被塗布物の表面に塗布して塗布膜を形成し、その塗布膜に対して波長が360nm以下である紫外光を照射した後、塗布膜を加熱処理して金属酸化物を結晶化させることを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。

IPC (3件)：

C01G 15/00 ,  C01G 19/02 ,  C23C 18/14

FI (3件)：

C01G 15/00 B ,  C01G 19/02 C ,  C23C 18/14

Fターム (17件)：

4K022BA06 ,  4K022BA08 ,  4K022BA09 ,  4K022BA10 ,  4K022BA11 ,  4K022BA14 ,  4K022BA15 ,  4K022BA21 ,  4K022BA22 ,  4K022BA23 ,  4K022BA24 ,  4K022BA25 ,  4K022BA26 ,  4K022BA33 ,  4K022DA06 ,  4K022DA08 ,  4K022DB25