特許
J-GLOBAL ID：200903023835476583
可変形状鏡及び可変形状光学素子ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-133435
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328212
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】本発明は、応答性が高く、小型で十分な変位の得られる低コストの可変形状鏡及び可変形状光学素子ユニットを提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、光学的反射面を有する可撓性薄膜と、前記可撓性薄膜を支持する枠部材と、前記可撓性薄膜に対向して配置され、前記枠部材に固着された基板と、前記可撓性薄膜と前記基板で挟まれた空間を含み、前記可撓性薄膜と前記基板を側壁の一部とした圧力室と、前記基板を挟んで前記圧力室の反対側に配置され、前記基板に固着されたポンプ手段と、前記基板を貫通すると共に、前記圧力室と前記ポンプ手段とをつなぐ第1の流路と、前記ポンプ手段と外部とをつなぐ第2の流路とを具備し、前記ポンプ手段が、前記第1及び第2の流路を通じて、流体を前記圧力室に吸入または前記圧力室から排出することによって前記可撓性薄膜の形状を可変とした可変形状鏡が提供される。
請求項（抜粋）：
光学的反射面を有する可撓性薄膜と、前記可撓性薄膜を支持する枠部材と、前記可撓性薄膜に対向して配置され、前記枠部材に固着された基板と、前記可撓性薄膜と前記基板で挟まれた空間を含み、前記可撓性薄膜と前記基板を側壁の一部とした圧力室と、前記基板を挟んで前記圧力室の反対側に配置され、前記基板に固着されたポンプ手段と、前記基板を貫通すると共に、前記圧力室と前記ポンプ手段とをつなぐ第1の流路と、前記ポンプ手段と外部とをつなぐ第2の流路とを具備し、前記ポンプ手段が、前記第1及び第2の流路を通じて、流体を前記圧力室に吸入または前記圧力室から排出することによって前記可撓性薄膜の形状を可変としたことを特徴とする可変形状鏡。
Fターム (1件)：
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