特許
J-GLOBAL ID：200903023836890324
走査型プローブ顕微鏡における部分測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-049158
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246728
出願日： 1997年03月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】大きな面積の走査でのアクチュエータの線形性補正と小さな面積の走査での位置的な連続性を保てるようにすること。【解決手段】測定試料の測定領域全体を走査して表示し(ステップS10,S11)、この内の一部分が指定されと(ステップS12,S16)、指定された測定領域の一部分の内の所定位置に探針を移動した後(ステップSS14,15,S17)、指定された一部分をX,Y方向に相対的に走査して(ステップS18)、探針と測定試料との実際の相対的移動量を測定する(ステップS19)。そして、この測定された実際の相対的移動量に基づいて、探針が測定領域の指定された一部分をX,Y方向に実際に相対的に走査するように補正して走査を行い(ステップS20,S21)、この補正により実際に走査して得られた測定結果を表示する(ステップS22)。
請求項（抜粋）：
探針を測定試料に対し相対的に走査させて前記測定試料表面の測定領域の物理的あるいは化学的量を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記測定領域全体を走査することにより得られた測定結果を表示するステップと、前記表示された測定領域の測定結果の内の一部分を指定するステップと、前記探針もしくは前記測定試料を相対的に移動させて、前記指定された測定領域の一部分の内の所定位置に前記探針を移動するステップと、前記所定位置に移動された探針が前記測定領域の一部分をX方向及びそれに垂直なY方向に相対的に走査するように、前記探針もしくは前記測定試料を移動させるステップと、前記測定領域の一部分の走査における前記探針と測定試料との実際の相対的移動量を測定するステップと、前記探針が前記測定領域の前記指定された一部分をX方向及びそれに垂直なY方向に実際に相対的に走査するように、前記測定された実際の相対的移動量に基づいて補正して、前記探針もしくは前記測定試料を移動させるステップと、前記補正により実際に走査して得られた測定結果を表示するステップと、を具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡における部分測定方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 X
