特許
J-GLOBAL ID:200903023844816486
軸流形レーザ発振器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-037482
公開番号(公開出願番号):特開平5-235440
出願日: 1992年02月25日
公開日(公表日): 1993年09月10日
要約:
【要約】【目的】 レーザ加工機などに用いる軸流形レーザ発振器において、出力を安定化し、形状を小形化することを目的とする。【構成】 複数の板を積み重ねて互いに気密にしたうえ、各板の相互間の隙間に冷却水,レーザガス,冷却水,発振器内の雰囲気を順に流通させたものを一組としてその複数組を積み重ねたガス冷却器10と、その積み重ねた板の両面からレーザ共振器の光軸と同軸に放電管5と同数のレーザ光が通過する孔をあけて配設した放電管5と、放電管5から離れた位置に配設した排気ダクト8を備えた構成により、放電励起して加熱されたレーザガスを放電管5を出た直後に冷却して、排気ダクト8の温度上昇や輻射熱による共振器ベース1の温度上昇をなくして共振器の光軸の狂いを抑制できる。また排気ダクト8などの冷却用の大形ファンの設置をなくすることができる。
請求項(抜粋):
放電電極を有する複数の放電管と、その両端に出力鏡と全反射鏡を取付けたレーザ共振器と、気体レーザ媒質の送風機と、前記レーザ共振器と前記送風機を接続する給気ダクトおよび排気ダクトと、ガス冷却器と、高電圧電源を備え、前記放電管内の前記気体レーザ媒質を前記高電圧電源に接続された前記放電電極の放電により励起してレーザ光を発生させる軸流形レーザ発振器であって、互いに気密性を保つ積み重ねた板の相互間の隙間に冷却媒体,気体レーザ媒質,冷却媒体,発振器内の雰囲気を順に流通させたものを一組として、その複数組を積み重ねて構成した前記ガス冷却器と、そのガス冷却器の積み重ねた板の両面から前記レーザ共振器の光軸と同軸に前記レーザ光が通過する孔をあけて配設した前記放電管と、前記放電管から離れた位置に前記ガス冷却器に設けた孔に配設した前記排気ダクトを備えた軸流形レーザ発振器。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S 3/04 G
, H01S 3/097 Z
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