特許
J-GLOBAL ID：200903023845914848
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262528
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074399
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 高倍率による観察時の電流密度上昇を押さえることにより、正常な観察が行えるようにする。【構成】 走査手段57は、エネルギビームが試料上で重複走査されないように走査する。試料像信号検出手段51は、試料から2次的の放出される試料像信号を検出する。フレームメモリ52は、エネルギビームの走査位置をアドレスとして試料像信号を記憶する。読出範囲設定手段55は、拡大倍率に基づいてフレームメモリ52上の読み出し範囲を設定する。読出手段53は、設定された読出範囲の試料像信号をフレームメモリ52から読み出して表示手段54に出力する。表示手段54は、試料像信号に応じた走査像を、前記読出範囲の大小にかかわらず一定面積内に表示する。
請求項（抜粋）：
拡大倍率に応じた走査間隔でエネルギビームを試料上で走査する走査手段と、拡大倍率が予定の倍率より高い範囲では、前記走査手段による主走査および副走査の少なくとも一方を間引く間引手段と、試料から得られた試料像信号を検出する検出手段と、前記検出された試料像信号に応じた走査像を表示する表示手段とを具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, H01J 37/147
, H01J 37/28
